SIMA1000 MEMS Beschleuniger.
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Industrielle digitale MEMS-Beschleunigungssensoren-Chips
,Siliziumbasierte MEMS-Beschleunigungssensoren-Chips
Der digitale MEMS-Beschleunigungssensor der MA1000-Serie ist ein Silizium-basierter MEMS-Trägheitssensor mit hoher Leistung, hoher Zuverlässigkeit und heimischer Produktion, der sich durch geringeres Rauschen, höhere Stabilität, gute Wiederholbarkeit, geringe Nichtlinearität, geringen Temperaturdrift und Vibrationsfestigkeit auszeichnet. Die MEMS-Beschleunigungssensoren der MA1000-Serie enthalten interne Temperatursensoren und unterstützen die On-Chip-Temperaturkompensation.
Hauptleistungsparameter
| Testelement | Einheit | MA1000-30A | MA1000-30B | MA1000-50A |
|---|---|---|---|---|
| Bereich | g | 30 | 30 | 50 |
| Rauschen | μg/√Hz | ≤80 | ≤150 | ≤100 |
| Bias-Stabilität (1σ@10s) | μg | ≤100 | ≤500 | ≤150 |
| Bias-Temperatursensitivität | μg/℃ | ≤50 | ≤200 | ≤150 |
| Bias-Temperaturhysteresis | mg | ≤2 | ≤10 | ≤5 |
| Skalierungsfaktor | LSB/g | 250000±2500 | 250000±2500 | 150000±1500 |
| Skalierungsfaktor-Nichtlinearität | % | ≤0.3 | ≤0.5 | ≤1 |
| Nichtlinearitätskoeffizient zweiter Ordnung | μg/g2 | ≤100 | ≤200 | ≤100 |
| Bandbreite (einstellbar) | Hz | 100 | 100 | 100 |
| Auflösung | μg | ≤25 | ≤50 | ≤50 |
| Schockfestigkeit | g | 500 | 500 | 500 |
| VRE (6.06grms) | g | ≤0.15 | ≤0.3 | ≤0.1 |
| Betriebstemperatur2 | mg/g2rms | -45~85 | -45~85 | -45~85 |
| Einschaltzeit | s | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Abtastfrequenz (einstellbar, Maximalwert 2000) | Hz | 500 | 500 | 500 |
| Versorgungsspannung | V | 5±0.25 | 5±0.25 | 5±0.25 |
| Strom | mA | ≤10 | ≤10 | ≤10 |
| Kommunikationsschnittstelle | - | SPI/I2C | SPI/I2C | SPI/I2C |
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