産業用デジタルMEMS加速度センサーチップ
,シリコンベースMEMS加速度センサーチップ
MA1000シリーズデジタルMEMS加速度計は、高性能、高信頼性、国産のシリコンベースMEMS慣性センサーであり、低ノイズ、高安定性、良好な繰り返し性、低非線形性、低温度ドリフト、耐振動性を特徴としています。MA1000シリーズMEMS加速度計は、内部温度センサーを内蔵しており、オンチップ温度補償をサポートしています。
主な性能パラメータ
|
テスト項目 |
単位 |
MA1000-30A |
MA1000-30B |
MA1000-50A |
|
レンジ |
g |
30 |
30 |
50 |
|
ノイズ |
μg/√Hz |
≤80 |
≤150 |
≤100 |
|
バイアスの安定性 (1σ@10s) |
μg |
≤100 |
≤500 |
≤150 |
|
バイアスの温度感度 |
μg/℃ |
≤50 |
≤200 |
≤150 |
|
バイアスの温度ヒステリシス |
mg |
≤2 |
≤10 |
≤5 |
|
スケールファクタ |
LSB/g |
250000±2500 |
250000±2500 |
150000±1500 |
|
スケールファクタの非線形性 |
% |
≤0.3 |
≤0.5 |
≤1 |
|
二次非線形係数 |
μg/g2 |
≤100 |
≤200 |
≤100 |
|
帯域幅 (チューニング可能) |
Hz |
100 |
100 |
100 |
|
分解能 |
μg |
≤25 |
≤50 |
≤50 |
|
耐衝撃性 |
g |
500 |
500 |
500 |
|
VRE (6.06grms) |
g |
≤0.15 |
≤0.3 |
≤0.1 |
|
動作温度2 |
mg/g2rms |
-45~85 |
-45~85 |
-45~85 |
|
起動時間 |
s |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
|
サンプリング周波数 (チューニング可能、最大値2000) |
Hz |
500 |
500 |
500 |
|
供給電圧 |
V |
5±0.25 |
5±0.25 |
5±0.25 |
|
電流 |
mA |
≤10 |
≤10 |
≤10 |
|
通信インターフェース |
- |
SPI/I2C |
SPI/I2C |
SPI/I2C |
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