산업용 디지털 MEMS 가속도계 칩
,실리콘 기반 MEMS 가속도계 칩
MA1000 시리즈 디지털 MEMS 가속도계는 고성능, 고신뢰성 및 국산화된 실리콘 기반 MEMS 관성 센서로, 낮은 노이즈, 높은 안정성, 우수한 반복성, 낮은 비선형성, 낮은 온도 드리프트 및 진동 저항성을 특징으로 합니다. MA1000 시리즈 MEMS 가속도계는 내부 온도 센서를 포함하며 온칩 온도 보상을 지원합니다.
주요 성능 파라미터
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시험 항목 |
단위 |
MA1000-30A |
MA1000-30B |
MA1000-50A |
|
측정 범위 |
g |
30 |
30 |
50 |
|
노이즈 |
μg/√Hz |
≤80 |
≤150 |
≤100 |
|
바이어스 안정성 (1σ@10s) |
μg |
≤100 |
≤500 |
≤150 |
|
바이어스 온도 민감도 |
μg/℃ |
≤50 |
≤200 |
≤150 |
|
바이어스 온도 히스테리시스 |
mg |
≤2 |
≤10 |
≤5 |
|
스케일 팩터 |
LSB/g |
250000±2500 |
250000±2500 |
150000±1500 |
|
스케일 팩터 비선형성 |
% |
≤0.3 |
≤0.5 |
≤1 |
|
2차 비선형 계수 |
μg/g2 |
≤100 |
≤200 |
≤100 |
|
대역폭 (조정 가능) |
Hz |
100 |
100 |
100 |
|
해상도 |
μg |
≤25 |
≤50 |
≤50 |
|
내충격성 |
g |
500 |
500 |
500 |
|
VRE (6.06grms) |
g |
≤0.15 |
≤0.3 |
≤0.1 |
|
작동 온도2 |
mg/g2rms |
-45~85 |
-45~85 |
-45~85 |
|
시동 시간 |
s |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
|
샘플링 주파수 (조정 가능, 최대값 2000) |
Hz |
500 |
500 |
500 |
|
공급 전압 |
V |
5±0.25 |
5±0.25 |
5±0.25 |
|
전류 |
mA |
≤10 |
≤10 |
≤10 |
|
통신 인터페이스 |
- |
SPI/I2C |
SPI/I2C |
SPI/I2C |
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